sixsigma专案改善实例-降低内层报废率项目报告(编辑修改稿)内容摘要:
铜平均总不良率为 %。 确认试验结论﹕ 从试验结果中﹐得出导致内层不良项主要是缺口﹑残铜﹐前者主要与现场清洁及来料板边 PP 粉尘有关﹐后者与涂布均匀性﹑蚀刻均匀性有关﹐下一步将继续采用 DOE 试验设计的方法验证涂布段之均匀性及蚀刻均匀性。 上述参数可导入使用。 杨正兵 12/12/03 内印制程旧涂布线参数 DOE 试验求证 实验名称: 内印 DOE 实验之涂布均匀性 实验目的: 利用「 田口方法望目特性 」,验证内印制程涂布均匀性最佳参数 . 实验时间: 03/12/05- 03/12/06 实验料号﹕ Q1024011 测试者 : 杨正兵 赵刚 A. 原制程参数操作标准 水准一 水准二 水准三 油墨粘度 (sec) A1 A2 A3 涂布轮转速 B1 B2 B3 B. 规划实验因子表 C. 排列实验直交表及实验结果 实验编号 重复次数 粘度 转速 Y1 Y2 Y3 Y4 Y5 Y6 Y7 Y8 Y9 1 1 1 1 4 5 1 2 1 1 4 4 4 1 3 1 1 4 4 1 4 1 1 1 5 1 1 4 5 2 1 1 2 5 5 5 2 2 1 2 4 2 3 1 2 2 4 1 2 7 5 2 5 1 2 5 4 參數 水準 實驗部分 (Experiment Section)(三 ) 3 1 1 3 4 5 3 2 1 3 4 3 3 1 3 4 5 3 4 1 3 5 4 3 5 1 3 5 4 1 2 1 4 2 2 1 4 3 2 1 4 4 2 1 5 5 4 4 5 2 1 4 5 1 2 2 4 4 4 5 2 2 2 4 4 5 3 2 2 4 5 4 2 2 5 5 5 5 2 2 4 5 5 6 1 2 3 6 2 2 3 4 5 4 6 3 2 3 5 6 4 2 3 4 4 6 5 2 3 4 5 5 7 7 1 3 1 5 7 2 3 1 4 5 7 3 3 1 4 4 7 4 3 1 5 7 5 3 1 5 5 7 8 1 3 2 5 8 2 3 2 5 8 3 3 2 5 5 7 8 4 3 2 8 5 3 2 7 4 9 1 3 3 5 7 9 2 3 3 5 9 3 3 3 5 5 5 5 9 4 3 3 5 5 9 5 3 3 D. 查看 S/N、一览表、图形及工程推定 E. 验证实验、确认最佳组合制程条件 油墨粘度 涂布轮转速 原设计值 A2 B2 新设计值 (最佳组合 ) A3 B2 參數 設計值 注:此实验结果依 DOE 软件计算出最佳组合条件确认实验已完成。 具体数据如下表所示﹕ 项次 1 2 3 4 5 6 7 8 9 极差 均值 1 2 5 3 4 5 6 7 8 9 10 总极差和均值 依上表可知﹐总体极差为 ﹐总体均值为 ﹐结果理想﹐能满足实际生产要求。 F.确认依此最佳组合至内蚀完成品 AOI 扫描结果 实验料号为 Q1264008 ﹐共 100PNL(200pcs)﹐涂布段按最佳组合参数﹐其余条件同生产线参数﹐经扫描后﹐共 3pcs 孔内残铜﹐良率 %。 G.结论 旧涂布线涂布轮转速﹑粘度最佳条件为﹕ 转速﹕ A3 粘度﹕ B2 报告人﹕杨正兵 12/07/03 實驗部分 (Experiment Section)(四 ) 内印制程新涂布线参数 DOE 试验求证 实验名称: 内印 DOE 实验之涂布均匀性 实验目的: 利用「田口方法望目特性」,验证内印制程涂布均匀性最佳参数 . 实验时间: 03/12/22- 03/12/24 实验料号﹕ Q1554001 测试者 : 杨正兵 赵红利 A. 原制程参数操作标准 水准一 水准二 水准三 油墨粘度 (cps) A1 A2 A3 下刮刀压力 (bar) B1 B2 B3 涂布速度 C1 C2 C3 B. 规划实验因子表 C. 排列实验直交表及实验结果 实验编号 重复次数 油墨粘度 下刮刀压力 涂布速度 Y1 Y2 Y3 Y4 Y5 Y6 Y7 Y8 Y9 1 1 1 1 1 9 1 2 1 1 1 9 9 1 3 1 1 1 11 9 9 9 1 4 1 1 1 9 1 5 1 1 1 9 2 1 1 2 2 9 2 2 1 2 2 9 9 2 3 1 2 2 6 2 4 1 2 2 9 2 5 1 2 2 9 9 6 參數 水準 3 1 1 3 3 3 2 1 3 3 3 3 1 3 3 3 4 1 3 3 3 5 1 3 3 4 1 2 1 2 8 4 2 2 1 2 4 3 2 1 2 8 9 4 4 2 1 2 8 4 5 2 1 2 8 5 1 2 2 3 8 5 2 2 2 3 5 3 2 2 3 5 4 2 2 3 8 8 5 5 2 2 3 6 1 2 3 1 8 8 6 2 2 3 1 8 8 8 6 3 2 3 1 6 4 2 3 1 8 8 8 8 6 5 2 3 1 8 8 7 1 3 1 3 8 7 2 3 1 3 8 7 3 3 1 3 8 7 4 3 1 3 8 8 7 5 3 1 3 8 1 3 2 1 8 2 3 2 1 8 8 3 3 2 1 8 4 3 2 1 8 5 3 2 1 9 1 3 3 2 9 2 3 3 2 9 3 3 3 2 8 9 4 3 3 2 8 8 9 5 3 3 2 D. 查看 S/N、一览表、图形及工程推定 E. 验证实验、确认最佳组合制程条件 油墨粘度 CPS 下刮刀压力 bar 涂布速度 原设计值 A2 B2 C2 新设计值 (最佳组合 ) A3 B3 C3 最适组合 A2 B3 C3 注:由参数之 S/N比效应值大小可以看出﹐下刮刀压力及涂布速度影响较大﹐此实验结果 依 DOE參數 設計值 软件计算出最佳组合条件确认实验已完成。 具体数据如下表所示﹕ 1 2 3 4 5 6 7 8 9 极差 均值 1 8 8 2 8 3 8 8 4 8 5 8 6 7 8 8 8 9 8 10 总极差和均值 依上表可知﹐总体 极差为 ﹐总体均值为 ﹐结果理想﹐能满足实际生产要求。 F.确认依此最佳组合至内蚀完成品 AOI 扫描结果 实验料号为 Q1554001 ﹐共 849PNL(1698pcs)﹐涂布段按最佳组合参数﹐其余条件同生产线参数﹐经扫描后﹐共 32pcs 孔内残铜﹐良率 %。 G.结论 新涂布线油墨粘度﹑下刮刀压力﹑涂布速度最佳条件为﹕ 油墨粘度﹕ A2 下刮刀压力﹕ B3 涂布速度﹕ C3 以上将作为现有作业文件修改之依据。 報告人﹕楊正兵 12/12/25 项次 参数项目 改善前参数 改善后参数 1 曝光能量 B1177。 b B2177。 b 2 显影速度 (新线 ) C1177。 c C2177。 c 3 比重 D1177。 d D2177。 d 4 HCL 含量 E1177。 e E2177。 e 5 蚀刻速度 F1177。 f1 F2177。 f2 6 蚀刻温度 G1177。 g 不变 7 旧涂布线油墨粘度 A2177。 a1 A3177。 a2 8 旧涂布线涂布轮转速 B2177。 b 不变 9 新涂布线油墨粘度 A2177。 a 不变 10 新涂布线下刮刀压力 B2177。 b 板厚 nT﹕ B3177。 b 板厚≦ nT﹕ B2177。 b 11 新涂布线涂布速度 C2177。 c1 C3177。 c2 备 注﹕ 1. 物料替换时 (如油墨﹑药水 )﹐须重新求证上述参数﹔ 2. 以上参数已更改相应作业文件﹔ 標准化部分 (Standardization Section) 控制依據 1 2 3 4 5 6 極 差 1 2 3 4 5 61 1 1 : 0 5 5 3 7 . 6 2 8 . 9 3 7 . 4 2 6 . 6 2 8 . 9 2 8 . 2 11 1 8 . 5 6 2 5 6 1 2 . 6 2 5 5 . 8 7 5 1 3 . 3 1 2 5 6 . 8 1 2 52 1 1 : 2 1 16 6 7 . 3 3 8 . 5 5 7 . 6 36 5 0 . 2 3 9 . 1 3 1 . 3 13 6 . 3 3 3 3 3 1 0 . 3 3 3 3 5 . 3 3 3 3 3 9 . 6 6 6 6 7 6 . 6 6 6 6 73 1 1 : 2 4 3 7 1 . 2 4 0 . 4 6 0 . 7 3 7 . 6 5 3 . 1 4 1 . 1 3 3 . 6 7 . 3 6 3 6 4 8 . 8 1 8 1 8 9 . 1 8 1 8 2 7 . 4 5 4 5 5 1 0 . 2 7 2 7 8 . 7 2 7 2 74 1 1 : 3 5 11 7 9 . 3 5 0 . 1 7 0 . 8 4 5 . 8 6 4 . 4 5 0 . 7 3 3 . 5 6 . 7 5 7 . 6 5 6 . 6 5 6 . 2 5 7 . 3 7 . 3 55 1 1 : 5 5 20 9 2 . 8 6 5 . 4 8 4 . 1 5 8 . 3 79 6 5 . 4 3 4 . 5 1 . 7 7 9 2 2 4 . 2 7 2 7 3 3 . 8 0 5 1 9 4 . 1 5 5 8 4 3 . 7 1 4 2 9 4 . 2 5 9 7 46 1 3 : 1 1 77 1 0 6 . 5 9 8 . 3 1 1 3 . 4 9 0 . 3 1 0 7 . 6 9 8 . 2 2 3 . 1 1 . 6 6 6 6 7 2 . 8 3 3 3 3 2 . 3 3 3 3 3 5 2 . 5 4 . 1 6 6 6 77 1 3 : 1 7 6 1 0 7 . 5 100 1 1 4 . 8 9 3 . 3 1 0 9 . 1 1 0 0 . 7 2 1 . 5 2 . 6 2 5 1 . 7 5 1 . 8 7 5 1 . 5 0 . 6 2 5 0 . 8 7 58 1 3 : 2 5 8 1 0 9 . 6 1 0 1 . 4 1 1 6 . 3 9 4 . 5 1 0 9 . 6 1 0 1 . 4 2 1 . 8 1 . 2 9 4 1 2 1 . 7 0 5 8 8 1 . 9 4 1 1 8 2 . 1 7 6 4 7 1 . 7 0 5 8 8 29 1 3 : 4 2 17 1 1 1 . 8 1 0 4 . 3 1 1 9 . 6 9 8 . 2 1 1 2 . 5 1 0 4 . 8 2 1 . 4 1 1 . 8 4 6 1 5 1 . 9 2 3 0 8 1 . 6 1 5 3 8 1 .。sixsigma专案改善实例-降低内层报废率项目报告(编辑修改稿)
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