真空技术
经典真空技术与设备
质的质变的过程,作为划分真空区域的依据,是比较合适的。 根据我国所制订的国标 GB3163 的规定,真空区域大致划分如下: 低真空区域 105~102 Pa ( 760~1 托) 中真空区域 102~101 Pa ( 1~103 托) 高真空区域 101~105 Pa ( 103~107 托) 超高真空区域 〈 105Pa (〈 107 托〉 处于低真空区域(包括粗真空区域)下的气体状态