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cz生长原理及工艺流程(编辑修改稿)
平滑，晶体直径均匀并达到目标值。 从原理上说也可以采用升高熔体的温度来实现转肩，但升温会增强熔体中的热对流，降低熔体的稳定性，容易出现位错 (断苞 )，所以，目前的工艺都采取提高拉速的快转肩工艺。 6．等径生长 当晶体基本实现等径 生长并达到目标直径时，就可实行直径的自动控制。 在等径生长阶段，不仅要控制好晶体的直径，更为重要的是保持晶体的无位错生长。 晶体内总是存在着热应力，实践表明