山西远鑫实业有限公司新建高效晶体硅太阳能光伏电池项目简本

山西远鑫实业有限公司新建高效晶体硅太阳能光伏电池项目简本内容摘要：

排放；　　　III氢氟酸酸洗酸雾（GGGG1G1G18）：利用不同浓度的氢氟酸对单晶硅棒头尾料、埚底料和单晶硅片进行腐蚀或清洗过程产生的酸雾，产污工段包括拉制单晶硅棒生产线单晶硅棒头尾料、埚底料清洗工段，单晶硅片切割及处理生产线RCA清洗（湿式化学洗净技术）工段、电池片生产线去硅玻璃工段，采用玻璃钢碱喷淋塔处理废气；　IV硝酸酸洗酸雾（G3）：利用20%HNO3溶液对单晶硅棒头尾料、埚底料进行酸洗过程产生的酸雾，采用玻璃钢碱喷淋塔处理废气； 　　V RCA清洗硫酸酸洗酸雾（GG10）：单晶硅片切割及处理生产线RCA清洗（湿式化学洗净技术）工段利用20%H2SO4溶液+30%H2O2溶液对单晶硅片进行清洗过程产生的酸雾，采用玻璃钢碱喷淋塔处理废气；　　　VI RCA清洗盐酸酸洗酸雾（GG12）：单晶硅片切割及处理生产线RCA清洗（湿式化学洗净技术）工段利用20%HCl溶液+30%H2O2溶液对单晶硅片进行清洗过程产生的酸雾，采用玻璃钢碱喷淋塔处理废气；　　　VII粘结剂挥发物（G5）：单晶硅片切割及处理生产线把硅棒粘结在玻璃基板上的过程中，粘结剂产生的有机挥发物，所有废气进一台“水（溶有絮凝剂）喷淋塔+活性碳纤维筒”处理，最终经20m高的排气筒排放；　VIII制绒碱性有机废气（G14）：电池片生产线利用85℃3%NaOH与异丙醇的混合溶液腐蚀硅表面形成绒面所产生的异丙醇，所有废气进一台“水（溶有絮凝剂）喷淋塔+活性碳纤维筒”处理，最终经20m高的排气筒排放；　　　IX 盐酸酸洗酸雾（G15）：利用20%HCl溶液对制绒后电池片进行酸洗过程产生的酸雾，采用玻璃钢碱喷淋塔处理废气；　X单晶硅片扩散废气（G16）：电池片生产线单晶硅片扩散反应产生Cl2和颗粒物（P2O5和SiO2 ），采用玻璃钢碱喷淋塔处理废气；　　　XI刻蚀废气（G17）：电池片生产线单晶硅片周边刻蚀反应产生的颗粒物SiF4以及少量未反应的CF4气体，所有废气进一台“水（溶有絮凝剂）喷淋塔+活性碳纤维筒”处理，最终经20m高的排气筒排放；　XII PECVD废气（G19）：电池片生产线用PECVD等设备在硅片正面沉积减反射膜产生的H2以及未反应的SiH4和NH3气体；　　XIII自动太阳能电池丝网印刷系统烘干及太阳能电池烧结炉废气（G2025）：电池片生产线对单晶硅片印刷银铝浆、铝浆和银浆以及烘烤烧结过程中产生的非甲烷总烃，主要成分为松油醇，所有废气进一台“水（溶有絮凝剂）喷淋塔+活性碳纤维筒”处理，最终经20m高的排气筒排放；　　（2）、水污染物产生情况与环保措施　　　本项目运营期产生的废水按性质可分为，一般含氟生产废水、浓氟生产废水、酸碱生产废水、有机生产废水和生活废水四类。 ① 一般含氟废水　　　项目运营期产生的含氟废水主要包括拉制单晶硅棒生产线单晶硅棒头尾料和埚底料氢氟酸腐蚀后清洗废水（W2）；单晶硅片切生产线RCA清洗（湿式化学洗净技术）工段利用10%氢氟酸去除硅片表面的氧化膜后的清洗废水（W1W1WW25）；电池片生产线去硅玻璃后清洗废水（W28），主要污染物为氟化物、pH、悬浮物。 ② 浓氟废水　　项目运营期产生的浓氟废水主要包括拉制单晶硅棒生产线单晶硅棒头尾料、埚底料氢氟酸和硝酸酸洗酸雾（GG3）的废气治理设施碱喷淋塔定期排水；单晶硅片处理车间RCA清洗（湿式化学洗净技术）工段产生的混合酸雾（G6G1013）的废气治理设施碱喷淋塔定期排水和尿素喷淋塔定期排水；电池片生产线去硅玻璃氢氟酸酸洗酸雾（G18）的废气治理设施碱喷淋塔定期排水。 ③ 酸碱废水　本项目运营期产生的以酸碱及悬浮物为主要污染的废水（不包括含氟或含有机污染的废水），主要包括拉制单晶硅棒生产线的头尾料和埚底料腐蚀前清洗废水（W1）、头尾料和埚底料硝酸酸洗后清洗废水(W3) 、头尾料和埚底料氢氧化钠碱腐蚀清洗废水(W4)；单晶硅片切割及处理生产线RCA清洗（湿式化学洗净技术）工段酸/碱洗后的清洗废水、氢氧化钠腐蚀后清洗废水（W17）；电池片生产线单晶硅片盐酸酸洗后的清洗废水（W27）、单晶硅片制绒后盐酸酸洗酸雾（G15）的废气治理设施碱喷淋塔的定期排水、硅片扩散反应废气（G16）治理设施碱喷淋塔定期排水、PECVD沉积氮化硅膜反应废气（G19）治理设施PECVD焚烧炉尾气的水喷淋塔定期排水。 ④有机生产废水　　　项目运营期产生的以有机污染为主的生产废水主要包括拉制单晶硅棒生产线的硅棒去头尾冷却冲洗废水（W5）；单晶硅片切割及处理生产线切方和滚圆过程冷却冲洗水（W6）、单晶硅棒切片后清洗废水（W7）、单晶硅片倒角冲洗废水（W8）、单晶硅片研磨清洗废水（W9）、单晶硅片抛光清洗废水（W18）、单晶硅片制绒后清洗废水（W26）、单晶硅片制绒过程碱性有机废气（G14）的废气治理设施水（溶有絮凝剂）喷淋塔的定期排水、单晶硅片周边刻蚀过程废气（G17）的废气治理设施水（溶有絮凝剂）喷淋塔的定期排水、单晶硅片丝网印刷及烧结过程废气（G2025）的治理设施水（溶有絮凝剂）喷淋塔的定期排水；电池组装生产线的钢化玻璃、背板TPT清洗废水（W29）、组件清洗废水（W30）；车间局部地面及设备的冲洗废水；生活污水。 本项目生产废水水质较复杂，可研提出建设综合污水处理站，分类进入综合污水处理站，其中一般含氟生产废水、废氢氟酸洗液、浓氟生产废水经含氟废水处理系统处理后，与有机生产废水、生活废水混合后再由有机废水处理系统处理。 预处理后的酸碱生产废水和废酸碱洗液、有机废水处理系统外排水与循环系统外排水经深度处理后，60%回用生产，40%达标外排南川河。 （3）、固体废物产生情况与环保措施　本项目达产后所产生的固体废弃物根据其性质可分为一般固废、危险固废。 针对固体废弃物可研未提出有效的防治措施，环评根据固废的特性分别提出相应的污染防治措施。 ①一般固废　　　锅底料、头尾料、单晶硅边料、废硅片为硅棒加工过程产生的大块废料，所含杂质较简单，且均存在于表面，经过预处理工序处理可作为单晶硅棒拉制的原料回用。 废切割石英、废石英锅、废EVA、废石墨坩埚环评要求分类存放于一般固废暂存库，依据情况联系供应商定期回收，均可作为其原材料回收利用；不合格电池片、各除尘器收集的粉尘、废钢线、硅片边角环评要求分类存放于一般固废暂存库，依据情况由收购商定期回收，主要用于多晶硅的提炼，市场情况良好；生活垃圾收集后由平定县环卫部门统一处理。 ②危险固废　环评要求废切片砂浆、废研磨剂、废抛光剂、废银浆、废铝浆、废银铝浆、废专利吸附物、废制绒液、废包装材料收集在有盖的金属容器内，金属容器内设防渗漏内衬，分类暂存于厂区北部的危险废物暂存库，定期由供货商回收再利用；含氟废水水处理系统污泥用防漏胶袋承装，废粘结剂、硅酮树脂、废粘合剂、废活性炭收集在有盖的金属容器内，并设防渗漏内衬，废偏磷酸液收集在塑料容器，废机油收集在原机油桶暂存于厂区北部的危险废物暂存库，定期交太原狮头集团废物处置有限公司进行无害化处理。 （4）、产噪情况与环保措施　主要为机加工设备、抛丸机、水泵等产生的机械噪声，空压机等产生的空气动力噪声，拟选用低噪声设备、采用先进的工艺技术、优化平面布局、设备置于室内、采用隔声、基础减振、绿化降噪等措施。 本工程拟采取的污染防治措施和预期治理效果见表4。 污染物产生及排放情况　本项目污染物产生及排放情况见表5～8。 表4 本工程拟采取的污染防治措施和预期治理效果　　　分类　　　污染源　　污染物　　　评价最终规定措施　　治理效果　投资　(万元)　　　废气　　抛丸机　　　粉尘　　　“风管+沉降室+布袋除尘器”20m高排气筒排放，除尘器效率为98%　　　《大气污染物综合排放标准》（GB162971996）表2中二级标准　120　　单晶炉　　粉尘　“沉降室+旋风除尘器”，20m高排气筒排放，除尘器效率为75%　　　950　　　制绒后盐酸酸洗　　　HCl酸雾　　　“玻璃钢碱喷淋塔”，喷淋液为1520%NaOH，30m高排气筒排放，HCl的吸收率≥90%　　　80　锅底料、头尾料等腐蚀和清洗　　氟化物、氮氧化物　　　“玻璃钢碱喷淋塔”，喷淋液为1520%NaOH，30m高排气筒排放，氟化物的吸收率≥75%，氮氧化物的吸收率≥75%　　240　去硅玻璃工序　氟化物　“玻璃钢碱喷淋塔”，喷淋液为1520%NaOH，20m高排气筒排放，氟化物的吸收率≥75%，　240　　RCA清洗工序　　H2SO4酸雾、氟化物、HCl酸雾　“玻璃钢碱喷淋塔和玻璃钢尿素喷淋塔两级处理+专利吸附剂填料塔吸附” ，喷淋液分别为1520%NaOH溶液和20%尿素溶液，50m高排气筒排放，氟化物的吸收率≥85%，HCl的吸收率≥90%.，H2SO4的吸收率≥80%　　860　多管扩散炉　颗粒物、Cl2　　　“玻璃钢碱喷淋塔”，喷淋液为1520%NaOH，25m高排气筒排放，Cl2的吸收率≥85%、颗粒物的吸收率≥50%　　90　　PN结刻蚀机　　颗粒物　　“水（溶有絮凝剂）喷淋塔+活性碳纤维筒”，20m高排气筒排放，颗粒物的吸收率≥75%　　90　自动太阳能电池丝网印刷系统烘干及太阳能电池烧结炉　非甲烷　总烃　“水（溶有絮凝剂）喷淋塔+活性碳纤维筒” 20m高排气筒排放，非甲烷总烃去除率80%　90　链式PECVD炉　颗粒物　“尾气焚烧器+水喷淋塔”，20m高排气筒排放，颗粒物的吸收率≥50%，氨的吸收率≥60%　　360　　氨　恶臭污染物排放标准》（GB1455493）新、扩、改建项目二级标准　食堂　油烟　　油烟净化器，油烟去除效率大于85％　《饮食业油烟排放标准》（GB184832001）　　　8　燃气锅炉　　烟尘、氮氧化物　　采用燃气锅炉，以天然气为燃料，经10m烟囱排放　　《锅炉大气污染物排放标准》（GB132712001）中二类区Ⅱ时段燃气锅炉标准　/　　空压机　　油烟　装集气装置+油烟净化器，油烟的去除率85%　　　　2　废水　　　一般含氟生产废水　pH、氟化物、SS等　　　分类进入综合污水处理站，其中一般含氟生产废水、浓氟生产废水经含氟废水处理系统处理后，与有机生产废水、生活废水混合后再由有机废水处理系统处理。 预处理后的酸碱生产废水和废酸碱洗液、有机废水处理系统外排水与循环系统外排水经深度处理后，60%回用生产，40%达标外排南川河。 《地表水环境质量标准》（GB38382002）Ⅳ类水质标准　1700　　浓氟生产废水　　pH、SS、CODcr、氯化物、氟化物等　酸碱生产废水　pH、SS、氯化物、NH3N　　　有机生产废水　pH、SS、CODcr等　　生活污水　　COD、SS、NH3N等　　超纯水制备、循环系统外排水　　盐类　　固废　　　　锅底料　　　石英、Si　收集后经预处理工序处理可作为单晶硅棒拉制的原料回用　综合利用　/　　　头尾料　Si　　　单晶硅边料　　　Si　废硅片　Si　　　废切割石英　　石英、Si　　　分类存放于一般固废暂存库，依据情况联系供应商定期回收，其可作为原料回收利用　合理处置　/　　　废石英锅　　　石英　废石墨坩埚　　　坩埚　　　废钢线　　Fe　废EVA　EVA　硅片边角　　Si　　分类存放于一般固废暂存库，依据情况联系收购商定期回收，用于硅的提炼。 合理处置　/　　各除尘设备　石英、Si等　　　不合格电池片　　Si、P、Si3N4等　　　生活垃圾　果皮、塑料等　　　收集后由平定县环卫部门统一处理　　　合理处置　10　餐厨垃圾　　泔脚等油脂废弃物　　　废氢氟酸　HF等　　　定期售予阳煤集团阳泉华越创力械制造有限公司　合理处置　/　废硝酸　HNO3等　　经预处理后直接进入污水综合处理站废水深度处理工序　　/　　废硫酸　　　H2SO4等　　废盐酸　HCl等　废氢氧化钠　NaOH等　废切片砂浆　　　聚乙二醇、碳化硅、Si　　　按《危险废物贮存污染控制标准》（GB185972001）要求收集在有盖的金属容器内，暂存于厂区北部的危险废物暂存库，定期由供货商回收再利用　　　　　　30　废研磨剂　　Al2OZrOSiOTiOSi等　废抛光剂　SiO聚乙二醇、有机碱、Si等　废银铝浆　　　银铝浆　废铝浆　铝浆　　废银浆　　　银浆　废专利吸附物　　　废制绒液　NaOH、异丙醇等　废包装材料　包装箱、桶等　废活性炭　　废活性炭　按《危险废物贮存污染控制标准》（GB185972001）要求收集在相应容器（废偏磷酸液收集在塑料容器，其余收集在有盖的金属容器内），暂存于厂区北部的危险废物暂存库，定期交太原狮头集团废物处置有限公司进行无害化处理。 合理处置　　60　废粘合剂　　环氧树脂　　　废粘结剂　环氧树脂　废刻蚀液（POCl3）　　POCl3　　　硅酮树脂　　硅酮树脂　　污泥　　　Si、CaF2等　　　废机油　　　废机油　噪声　压缩机、风机、泵类等　　　流体噪声、机械噪声　置于厂房内、设置减震基础及安装消声器等　　　厂界噪声达到《声环境质量标准》（GB30962008）中2类标准　　　75　　　防渗工程　　　场地平整、压实、无裂缝、无松土，表面无积水、石块、树根及其它任何尖锐杂物。 生产区：土地平整压实，30cm黏土层，覆以水泥混凝土，保证渗透系数不大于110－7cm/s，防渗设计及施工应严格按照《地下工。