pecvd操作手册中英文版

pecvd操作手册中英文版内容摘要：

.等离 子源通过一个 CAN总线插入式卡（ PCI 331）驱动。 Distribution of profibus addresses Profibus地址的分布 模块 / 节点 Profibus 地址 PC 1 电源分配节点 (ET200M) 3 机器节点 A2 (ET200M) 4 机器节点 A3 (ET200M) 5 Eurotherm 2408 频率转换器 (工艺腔室 ) 12 Eurotherm 2400 加热器 (装载 lock) 14 Eurotherm 2400 加热器 (加热腔室 ) 15 Eurotherm 2400 加热器 (工艺腔室 ) 16 6 of 128 6 阀组 1+2 (Festo CPV DIO 1) 18+19 MFC 13 (MKS 1179 As) 2123 Lenze马达 1 (装载腔室 r) 41 Lenze马达 2 (加热腔室 ) 42 Lenze马达 3 (工艺腔室 ) 43 Lenze马达 4 (工艺腔室 r) 44 Lenze马达 5 (冷却腔室 ) 45 Lenze马达 6 (冷 却腔室 ) 46 Lenze马达 7 (卸载腔室 ) 47 Lenze马达 11 (卸载台 ) 51 Lenze马达 24 (装载台 ) 64 预处理源 (RF发生器 ) 66 Distribution of CANBus Node ID’s CANBus Node ID’s 的分布 模块 / 节点 信息 ID 信息返回 ID 微波 1 11 91 微波 2 12 92 微波 3 13 93 微波 4 14 94 微波 5 15 95 微波 6 16 96 微波 7 17 97 微波 8 18 98 7 of 128 7 Decentralized peripheral ET200M 分散的外围设备 ET200M Peripheral node 1 (Power distribution Node) 外围节点 1 (电源分配节点 ) Designation 名称 单元个数 分散的外围系统 ET200M (IM 153) 1 S7300 数字输入 SM321, potentials separated, 16DI 3 S7300 数字输出 SM322, 16DO 2 S7300 模拟输入 SM331, potentials separated, 8AI 2 S7300 信号模块的前端插头 7 Peripheral node 2 (Machine Node A2) 外围节点 2 (机器节点 A2) Designation 名称 Number of units 分散的外围系统 ET200M (IM 153) 1 S7300 数字输入 SM321, potentials separated, 16DI 5 S7300 数字输出 SM322, 16DO 2 S7300 信号模块的前端插头 7 Peripheral node 2 (Machine Node A3) 外围节点 2 (机器节点 A3) Designation 名称 Number of units 分散的外围系统 ET200M (IM 153) 1 S7300 数字输入 SM321, potentials separated, 16DI 3 S7300 数字输出 SM322, 16DO 1 S7300 模拟输入 SM331, potentials separated, 8AI 1 S7300信号模块的前端插头 5 8 of 128 8 Software 软件 Windows 2020 English with Service Pack 4 is used as operating system for controlling and operating PC. 采用 Windows 2020 English with Service Pack 4 操作系统。 Visual system with VAC_NT, Version 带 VAC_NT的可视化系统 , Graphic visualization of all data, set points, process states and user inputs 所有数据， 设定点，过程状态和用户输入的图像可视化 Menucontrolled process operating with keyboard and touch 板的菜单控制过程操作 Manual operation for selected functions. 已 选 功能的人工操作 Automatic operation for processes using parameters 使用参数过程的自动操作 Databaseoriented control and management of procedures 数据库导向控制和管理程序 Eventcontrolled message logging 事件控制信息的录入 Protocol recording during the process run 工艺运行过程的协议记录 Diagnosis function (I/O list) 诊断功能 (I/O 清单 ) Installation instruction for the main ponents 主要元件的安装指示 For the installation of the SIMATIC peripheral ponents see the section in the System manual “Local peripheral equipment ET200M” (Order No.: 6ES7 1531AA018AA0). SIMATIC外围元件的安装参见系统手册 “Local peripheral 9 of 128 9 equipment ET200M” (Order No.: 6ES7 1531AA018AA0). For SINECL2 connection ply with the Technical Description and the Installation Guidelines in the Manual “CP5613”. SINECL2的连接 遵守技术描述和和安装向导，在手册 “CP5613”。 10 of 128 10 2 General operating instructions 一般 的 操作说明 The system can be operated with keyboard and mouse (touch pad) in the same manner as WINDOWS174。 . The user surface uses input elements (numerical and text input frames, tables, …) according to the WINDOWS 174。 standard. For further information see the WINDOWS174。 Manual. 系统可以通过键盘和鼠标（触摸板）操作，和 Windows操作方式一致。 根据 WINDOWS174。 标准，用户界面采用输入元件 (数字和文本输入框架，表格， …)。 更多的信息参见 WINDOWS174。 手册。 Radio buttons 单选 按钮 Radio buttons always appear in groups. They are like a multiplechoicetest. At least one of the buttons is always activated at any time. That means a radio button can not be disabled , unless at least one different radio button has been activated to disable the first. 单选 按钮总是出现在群 groups里面，就像多项选择测试一样。 至少有一个按钮在任何时候总是激活的。 这意味着一个单选 按钮不可能是无效的 ，除非至少有一个不同的单选 按钮已经被激活使前一个按钮 失效。