江南电力光伏单晶炉sop操作标准规范说明书(23页)-作业指导(编辑修改稿)

江南电力光伏单晶炉sop操作标准规范说明书(23页)-作业指导(编辑修改稿)内容摘要：

会自动地从功 率控制变成温度控制，维持在工序参数中输入的稳定目标温度的设定值。 ⑥ 按下主画面【 稳定 】按钮，显示安定程序进行状况。 TDRJN 系列单晶炉操作说明书 11/23 ３－２－６ 引晶程序 到达稳定目标温度保持时间的设定时间后，和提示音同时将出现下面的画面，可以进行接下来的操作。 ① 按【 引晶 】按钮，开始引晶程序 显示引晶程序开始。 ② 程序开始时，操作画面工序栏【 引晶 】加色显示，按工序参数和子参数表的设定值，进行自动程序。 ③ 经过引晶籽晶烧灼时间后，籽晶开始下降到引晶籽晶烧灼位置处。 ④ 将籽晶下降至 NECK 籽晶液化 表面位置以下，浸入熔液，直到到达籽晶转速 (S/R)设定前一直慢慢做业。 ⑤ 在籽晶接触液体部分出现水蒸气，形成 DF线后启动籽晶底速上升。 ⑥ 当液体温度到达引晶加热器的设定值时，开始控制。 ⑦ 到达引晶目标直径的设定值， 设 定 值 到达后开始维持引晶直径， 到达引晶保持定时器的设定值时，将自动的转到放肩程序。 ⑧ 想手动转到放肩程序时，先按操作面板下面的【 下一步 】按钮，再按下【 确定 】按钮，即可手动进入放肩程序。 TDRJN 系列单晶炉操作说明书 12/23 ３－２－７ 放肩程序 引晶程序完全按照子参数设定那样完成时，出现下面的画面，表示可以进行下面的程序。 ① 按【 放肩 】按钮，开始放肩程序。 显示放肩程序开始的画面。 ② 放肩程序开始时，操作画面左侧的工序表示栏【 放肩 】被加色显示，按工序参数、子参数表的设定值进行自动程序。 ③ 慢慢下降籽晶 (SL)直到到达 S/L设定值。 ④ 籽晶回转 (SR) 是按照 S/R设定值，坩埚回转是按照放肩 C/R设定值控制的。 ⑤ 温度控制是按照加热器设定值进行控制的。 ⑥ 当结晶的直径到达放肩转肩提升直径设定值时后，操作面板左侧的工序表示栏【 转肩 】将被加色显示，自动转换到 转肩 程序。 ⑦ 如果卷尺测定值达到 应该执行的放肩转肩提升直径，而未到达放肩转肩提升直径的程序设定值时，也不能进行接下来的程序，因为结晶设定的直径更大的原因，按【 下一步 】按钮，才能完成强制性的转换程序。 ⑧ 即使结晶直径接近放肩转肩提升直径的设定值，但是卷尺测定值还是比规定的小的时候，应是先按照下面的顺序将工序参数中的放肩转肩提升直径的设定变大，到达的瞬间按【 下一步 】按钮，强行转换。 把这时直径的数值设定为下次 CROWN 转肩提升直径的设定值。 TDRJN 系列单晶炉操作说明书 13/23 ＜ 过程参数设定值的变更方法 ＞ １） 按主画面的【 过程参数 】按钮，使显示 过程参数设置画面。 ２） 点击表示值后，用十进制数值输入。 TDRJN 系列单晶炉操作说明书 14/23 ３－２－８ 转肩 程序 显示转肩程序开始画面。 ① 当放肩程序的拉晶直径到达预定值时，将自动换到转肩程序。 显示转肩程序开始的画面 ② 转肩程序开始时，操作画面左侧的状态表示栏【 转肩 】的按钮将被加色显示，按工序参数、子参数表的设定值进行自动程序。 ③ 程序转换后，籽晶提升 (SL)会慢慢加速，到达转肩 S/L的设定值。 ④ 籽晶回转 (SR)是按照转肩 S/R的设定值，而加热器温度则按照转肩加热器的设定值控制的。 ⑤ 开始 转肩坩埚进度比率控制。 ⑥ 当结晶的直径停止变大时，既是从最大直径缩小到转肩等径提升直径设定值的时间，将籽晶提升（ SL）变换到转肩等径提升初始速度设定值后，操作面板左侧的工序表示栏【 等径 】出被加色显示，然后自动的进行等径程序。 TDRJN 系列单晶炉操作说明书 15/23 ３－２－９ 等径 显示等径程序开始画面。 ① 转肩程序的拉晶直径到达预定直径时，将自动换到等径程序。 显示等径程序开始的画面 ② 等径程序开始时，操作画面左侧的工序表示栏【 等径 】，【 等径 】处将被加色显示，为了使等径目标直径按预定控制直径，开始籽晶提升 (SL)的变动。 ③ 籽晶回转 (SR)是按照等径 S/R 的设定值，坩埚回转 (CR)是按照等径 C/R 的设定值，加热器温度是按照等径加热器的设定值控制的，坩埚上升 (CL)是以等径 C/L的设定值为基准，根据开始籽晶升降（ SL）前的位置来控制的。 ④ 当结晶长到达等径温度控制开始长度的设定值时，温度运作开始，开始控制液体温度。 ⑤ 当结晶长到达等径收尾提升等径长度的设定值时，操作面板左侧的工序表示栏的【 收尾 】处被加色显示，自动的转换到收尾程序。 TDRJN 系列单晶炉操作说明书 16/23 ３－２－１０ 收尾程序 显示收尾程序开始。 ① 当等径程序的结晶提升到达预期的长度时，将。