rtr制程训练新(编辑修改稿)内容摘要:

曝光量 YQ20SA 7/21格 (7格滿 ) 45mj/ c㎡ 中国最大的资料库下载 三 .品質保證 25T清潔一次光學壓克力玻璃 amp。 底片。  21度表校驗。  15,000次需更換燈管 ,並對光學壓  克力玻璃作內、外能量檢測 . 四 .品質確認 :  、斷線。  . 中国最大的资料库下载 RTR DES(developing etching stripping)   一 . DES :  貼膜 +露光 +顯像  二 . 參數設定 : 中国最大的资料库下载 顯像(RTR DES) 顯像溫度 30度 顯像速度 顯像壓力 上噴 ﹕ kg/cm2 下噴 ﹕ 0 kg/cm2 顯像藥液 藥液名稱 ﹕ 顯影液 EF105A 顯像點 一般為顯像槽長之 50%﹐ 顯像時間 14s 顯像槽長 蝕刻(RTR DES) 蝕刻噴壓 上噴 ﹕ kg/cm2 下噴 ﹕ 0 kg/cm2 蝕刻速度 同顯像 中国最大的资料库下载 三 .品質控管  (8小時 )。
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