多晶硅生产工艺流程

多晶硅生产工艺流程内容摘要：

多晶硅生产工艺流程 多晶硅生产工艺流程 (简介)晶硅最主要的工艺包括，三氯氢硅合成、四氯化硅的热氢化（有的采用氯氢化），精馏，还原，尾气回收，还有一些小的主项，制氢、氯化氢合成、废气废液的处理、硅棒的整理等等。 主要反应包括：2 （三氯氢硅合成） ;2氢化） ;2i（还原）多晶硅是由硅纯度较低的冶金级硅提炼而来，由于各多晶硅生产工厂所用主辅原料不尽相同，因此生产工艺技术不同；进而对应的多晶硅产品技术经济指标、产品质量指标、用途、产品检测方法、过程安全等方面也存在差异，各有技术特点和技术秘密，总的来说，目前国际上多晶硅生产主要的传统工艺有：改良西门子法、硅烷法和流化床法。 改良西门子法是目前主流的生产方法，采用此方法生产的多晶硅约占多晶硅全球总产量的 85。 但这种提炼技术的核心工艺仅仅掌握在美、德、日等 7 家主要硅料厂商手中。 这些公司的产品占全球多晶硅总产量的 90%，它们形成的企业联盟实行技术封锁，严禁技术转让。 短期内产业化技术垄断封锁的局面不会改变。 西门子改良法生产工艺如下：这种方法的优点是节能降耗显著、成本低、质量好、采用综合利用技术，对环境不产生污染，具有明显的竞争优势。 改良西门子工艺法生产多晶硅所用设备主要有：氯化氢合成炉，三氯氢硅沸腾床加压合成炉，三氯氢硅水解凝胶处理系统，三氯氢硅粗馏、精馏塔提纯系统，硅芯炉，节电还原炉，磷检炉，硅棒切断机，腐蚀、清洗、干燥、包装系统装置，还原尾气干法回收装置；其他包括分析、检测仪器，控制仪表，热能转换站，压缩空气站，循环水站，变配电站，净化厂房等。 （1）石英砂在电弧炉中冶炼提纯到 98%并生成工业硅， 其化学反应 2）为了满足高纯度的需要，必须进一步提纯。 把工业硅粉碎并用无水氯化氢(之反应在一个流化床反应器中，生成拟溶解的三氯氢硅( 其化学反应 2 反应温度为 300 度，该反应是放热的。 同时形成气态混合物(2,1,i)。 （3）第二步骤中产生的气态混合物还需要进一步提纯，需要分解: 过滤硅粉，冷凝 气态 2,1 返回到反应中或排放到大气中。 然后分解冷凝物 化三氯氢硅（多级精馏）。 （4）净化后的三氯氢硅采用高温还原工艺，以高纯的 2 气氛中还原沉积而生成多晶硅。 其化学反应 2晶硅的反应容器为密封的，用电加热硅池硅棒（直径 5米，长度 ，数量 80 根），在 1050在棒上生长多晶硅，直径可达到 150米。 这样大约三分之一的三氯氢硅发生反应，并生成多晶硅。 剩余部分同 2,1,反应容器中分离。 这些混合物进行低温分离，或再利用，或返回到整个反应中。 气态混合物的分离是复杂的、耗能量大的，从某种程度上决定了多晶硅的成本和该 3工艺的竞争力。